所谓电子平衡，是指进入测量体积元的二次电子的能量等于离开体积元的二次电子的能量。当射线能量高时，二次电子的能量也高，穿透物质的厚度增加，达到电子平衡的厚度也增加。一般来说，只要收集体积空气周围的材料厚度大于二次电子的最大范围，基本上可以满足电子平衡条件。