真空计:
定义:真空计是测量真空度的传感器;原理:将被测信号传输到真空计并放大,显示被测真空环境的真空度;用途:主要用于真空环境下的真空测量领域,如真空镀膜、太阳能集热管制造、真空熔炼等。分类:
热电偶规:目前国内主要有51系列,53B/54D等。主要用于低真空测量;Pirani系列(电阻表):目前国内电阻表型号主要是52T系列。主要用于粗真空和低真空测量;热阴极规:主要型号有ZJ-2系列、ZJ-10系列、ZJ-27系列、B-A规等。这种类型的量规管主要用于高真空测量;冷阴极规(cold gauge):如磁规。