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小米手机网,三星宣布 11nm 新工艺:7nm 全面上极紫外光刻
2022-08-18 09:53  浏览:0

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Intel 虽然一再强调自己的 xxnm 工艺才是最正确的,好比同样标称 10nm,自己要比三星、台积电的领先整整一代,然则没办法,人家的脚步要快得多。今天,三星电子又宣布了新的 11nm FinFET 制造工艺 “11LPP”(Low Power Plus),并确认未来 7nm 工艺将上 EUV 极紫外光刻。三星 11LPP 工艺不是全新的,而是 14nm、10nm 的融合,一方面接纳 10nm BEOL(后端工艺),可以大大缩小芯片面积,另一方面则沿用 14nm LPP 工艺的部门元素。
三星于 2016 年 10 月投产 10LPE(10nm Low Power Early),并已准备好即将投产 10LPP(10nm Low Power Plus),主要为智能手机制造芯片,14nm 工艺则针对主流、低功耗和紧凑型芯片。
下一步,三星还会增添 14LPU、10LPU 版本。
11LPP 工艺将填补三星 14nm、10nm 之间的空缺,号称可在一致晶体管数目和功耗下比 14LPP 工艺提升 15%的性能,或者降低 10%的功耗,另外晶体管密度也有所提高。
三星设计 2018 年上半年投产 11LPP 工艺。
未来,三星还一起准备了 9nm、8nm、7nm、6nm、5nm 工艺,其中 7nm 7LPP 版本会周全融合 EUV 极紫外光刻,确认 2018 年下半年试产。
尚有报道称,在那之前的明年上半年,三星会首先在 8LPP 工艺的特定层上使用 EUV。
三星示意,2014 年以来,已经使用 EUV 技术处理了靠近 20 万块晶圆,取得了丰硕成果,好比 256Mb SRAM 的良品率达到了 80%。

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