12月28日开盘分析，光刻机概念报跌，南大光电领跌，容大感光、清溢光电、永太科技、英唐智控等跟跌。

相关光刻机上市公司有：

芯源微（688037）：半导体设备开发研制。

高盟新材（300200）：公司主营业务为超净高纯试剂、光刻胶配套试剂等湿电子化学品的研发、生产和销售。

捷捷微电（300623）：公司正在将业务拓展至光刻机产线整体解决方案,开展的光刻机产业化项目总投资额约8.59亿元。

西陇科学（002584）：公司是一家专业从事微电子化学品的产品研发、生产和销售的高新技术企业,主导产品包括超净高纯试剂、光刻胶、功能性材料、锂电池材料和基础化工材料等。

胜利精密（002426）：2019年1月10日公告,公司拟向不超过10名符合条件的特定投资者非公开发行股票不超过688,303,543股,募集资金总额不超过200,000.00万元,扣除发行费用后,拟全部用于智能制造生产研发基地建设项目、光刻机产业化项目及补充流动资金。

大族激光（002008）：2020年6月17日公司在互动平台称：公司在研光刻机项目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用，今年有望实现小批量销售。

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